真空镀膜设备

一、电子束热电阻蒸发镀膜机

大功率配置,高速、高扭、高产,结构紧凑、性能稳定,其传动系统融合了国外传动的优点。在挤塑、控制及计量系统等方面拥有独到的核心技术;电气控制可采用PLC系统,实现全机组自动化联控和在线检测功能。

·可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、带通膜、介质膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-99层膜的膜系镀膜;

·汽车反光玻璃、望远镜、眼镜片、光学镜头等产品的镀膜;

· 配置不同的蒸发源、电子枪和离子源及膜厚仪可镀多种膜系;

· 对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面镀超硬质膜;

·汽车、摩托车灯具蒸镀反光膜;制备金属单质薄膜、半导体薄  膜、氧化物薄膜、有机薄膜等。

专利技术:“加有射频等离子体聚合的蒸发镀膜机”,专利号:200420032576.8。

二、直流、中频、射频磁控溅射设备

·用于沉积多层金属复合薄膜或合金膜(Al、Ag、Ni、Cu、Ti、Pd等);

·用于金属与气体反应溅射,沉积各类化合物薄膜(如SiO2、TiN等);

·用于沉积绝缘介质膜、化合物膜等(SiC、各类陶瓷等)。

三、多弧离子镀膜设备

·耐磨涂层:TiN、TiC、TiCN、TiAlN等;

·润滑涂层:MoS2、Ca2F、石墨等;

·耐腐蚀涂层:陶瓷等;

·装饰涂层:仿金TiN等。

专利技术 :“大平面多弧离子镀膜机核心技术矩形平面多弧靶”,专利号:03249251.0。

四、多功能复合镀膜设备

根据工艺需要,集中蒸发、磁控、多弧离子镀膜多种技术于一体,兼顾多种镀膜技术特点。

五、镀膜工艺及工艺开发

硬质涂层、类金刚石涂层、耐腐蚀涂层、低摩擦涂层、汽车灯具反射膜、装饰涂层等各类工艺开发及来料加工,广泛应用于机械加工、模具、光学、航空航天、太阳能、汽车工业、石油化工、电子信息、建筑五金业、装饰及包装等各行业。

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